無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)

來源：上海有盛凈化科技有限公司  發(fā)布時(shí)間：2015-05-22  點(diǎn)擊：

依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)[Federal Standard (FS) 209E, 1992]，可將無塵室分為六級。

分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。

如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。

例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英)而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

為保持無塵室的潔凈度，進(jìn)出的人員有一定的穿著規(guī)定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無塵室清潔度的定義：

所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。

由于奈米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。